Pesquisa sobre: MICROTECNOLOGIA 
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Descritor Inglês:   Microtechnology 
Descritor Espanhol:   Microtecnología 
Descritor Português:   Microtecnologia 
Categoria:   H01.570
J01.897.520.500
Definição Português:  
Tecnologia de produção de dispositivos microscópicos na escala de micrômetro (tipicamente entre 1 e 100 micrômetros), como circuitos integrados ou MEMS (do inglês Micro-Electro-Mechanical Systems, sistemas micro-eletrônicos-mecânicos). O processo geralmente envolve a replicação e a fabricação paralela de centenas ou milhares de estruturas idênticas usando várias técnicas de deposição de filme fino que acontecem em salas de ambiente controlado. 
Qualificadores Permitidos Português:  
SN estatística & dados numéricos IS instrumentação
MT métodos ST normas
Número do Registro:   53362 
Identificador Único:   D055616 

Ocorrência na BVS:
 
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