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Descripteur en français: Microtechnologie
Descripteur en anglais: Microtechnology
Descripteur en espagnol: Microtecnología
Descripteur microtecnología
Note d'application: Tecnología de fabricación de dispositivos microscópicos, del rango de micrómetros (típicamente 1-100 micras), como circuitos integrados o sistemas microelectromecánicos (MEMS). El proceso generalmente implica la duplicación y fabricación paralela de cientos o millones de estructuras idénticas usando diversas técnicas de depósito de finas películas y se realiza en salas limpias con control medioambiental.
Descripteur en portugais: Microtecnologia
Synonymes: Micro-fabrication
Micro-technologie
Micro-usinage
Microfabrication
Code(s) d'arborescence: H01.570
J01.897.520.500
Identificateur unique RDF: https://id.nlm.nih.gov/mesh/D055616
Note d'application: Manufacturing technology for making microscopic devices in the micrometer range (typically 1-100 micrometers), such as integrated circuits or MEMS. The process usually involves replication and parallel fabrication of hundreds or millions of identical structures using various thin film deposition techniques and carried out in environmentally-controlled clean rooms.
Qualificatifs autorisés: IS instrumentation
MT méthodes
SN statistiques et données numériques
ST normes
Identifiant DeCS: 53362
ID du Descripteur: D055616
Classification de la NLM: QT 36.5
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Date d'établissement: 01/01/2009
Date d'entrée: 08/07/2008
Date de révision: 16/10/2008
Microtechnologie - Concept préféré
Concept UI M0518878
Terme préféré Microtechnologie
Synonymes Micro-fabrication
Micro-technologie
Micro-usinage
Microfabrication



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