Pesquisa
Descritor em português: Microtecnologia
Descritor em inglês: Microtechnology
Descritor em espanhol: Microtecnología
Descritor em francês: Microtechnologie
Termo(s) alternativo(s): Micro-fabrication
Micro-technologie
Micro-usinage
Microfabrication
Código(s) hierárquico(s): H01.570
J01.897.520.500
Identificador Único RDF: https://id.nlm.nih.gov/mesh/D055616
Nota de escopo: Manufacturing technology for making microscopic devices in the micrometer range (typically 1-100 micrometers), such as integrated circuits or MEMS. The process usually involves replication and parallel fabrication of hundreds or millions of identical structures using various thin film deposition techniques and carried out in environmentally-controlled clean rooms.
Qualificadores permitidos: IS instrumentation
MT méthodes
SN statistiques et données numériques
ST normes
Identificador DeCS: 53362
ID do descritor: D055616
Documentos indexados na Biblioteca Virtual em Saúde (BVS): Clique aqui para acessar os documentos da BVS
Data de estabelecimento: 01/01/2009
Data de entrada: 08/07/2008
Data de revisão: 16/10/2008
Microtechnologie - Conceito preferido
Identificador do conceito M0518878
Termo preferido Microtechnologie
Termo(s) alternativo(s) Micro-fabrication
Micro-technologie
Micro-usinage
Microfabrication



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